There is an archived page. Information may be incomplete or outdated. На кафедре имеется уникальный комплекс лабораторного оборудования, позволяющий студентам не только проектировать на компьютере интегральные микросхемы, но и реализовать свои проекты. Благодаря участию в Национальном проекте «Образование» кафедра оснащена новым, современным оборудованием. В рамках данного проекта закуплена и запущена в эксплуатацию программируемая напылительная система фирмы «TorrInternational», позволяющая методом электроннолучевого и магнитронного испарения формировать пленочные структуры из широкого набора веществ.
Лаборатория датчиков и микросенсоров оснащена комплектами для программирования микропроцессоров и изучения системы команд. Имеется программно управляемый полуавтоматический координатограф для вычерчивания топологических элементов микросхем.
Лаборатория формирования пленочных структур оснащена двумя установками термовакуумного напыления, двумя установками плазменно-химической очистки подложек «Плазма 600», репродукционной фотокамерой для получения фотошаблонов тонкопленочных микросхем, двумя лазерными установками для подгонки параметров резисторов и точечной сварки.
Лаборатория фотолитографии оборудована комплектом производственных установок, позволяющих осуществить полный процесс фотолитографии от нанесения фоторезиста до получения заданной топологии на предварительно напыленных подложках.
Лаборатория твердотельной электроники оснащена учебными комплектами, позволяющими выполнять лабораторные работы по изучению и исследованию характеристик основных полупроводниковых приборов твердотельной электроники, а также аналоговой и цифровой схемотехники.
Научная лаборатория оснащена оборудованием, приборами и экспериментальными установками для исследования свойств материалов и датчиков физических величин, установками для измерения эффекта Холла и магнитной восприимчивости.
В лаборатории технологии электронных средств студенты выполняют лабораторные работы по курсам «Технология электронных средств», «Автоматизация технологических процессов в производстве электронных средств», «Материалы в приборостроении».
